X熒光光譜儀作為一種廣泛應用的儀器，主要對各類樣品做定性定量分析方法，針對其定性分析方法，我們一起來看看：
按照特征X射線熒光的波長或能量與原子序數的對應關系，即可舉行定性分析。假如要對待測樣品的目標元素舉行定性分析，只要挑選合適的測量條件，對目標元素舉行采譜，從譜峰和結果即可推斷目標元素的存在與否，特殊注重在此過程中要同時關注目標元素的多條譜線方可下終于的結論。假如要對待測樣品全部元素舉行定性分析，可以按照需要挑選多個測量條件和掃描條件對元素周期表中從9F到92U的全部元素舉行全程掃描，然后按照掃描的譜圖舉行定性分析。舉行定性分析的普通步驟為：
①將X光管靶材元素的特征譜線標識出來，假如有條件，可以挑選合適的濾光片將靶材元素的譜線給除去，以免影響測試樣品中含有與靶材相同的元素；
②從譜圖上面的譜峰，按照所選用的條件以及對應的X射線特征譜線波長或能量，推斷該譜峰有可能是什么元素的特征譜線；
③通過該元素的其它譜線是否存在譜峰以及譜峰的高度來推斷該元素有沒有可能存在；
④重復以上操作，直到全部譜峰都處理完。
X熒光光譜儀的定性分析方法
X射線熒光光譜法是一種相對分析辦法，其分析結果受祥品基體的影響比較大。所以精確地對樣品舉行分類，建立相關的分析辦法相當重要，如金屬可以分為銅合金、鐵合金、鋁合金等，假如不舉行具體分類，銅合金的樣品直接放到鋁合金的分析辦法里面去做，結果將會受到背景和校正參數的影響產生不同程度的誤差。所以應該逐漸究美篩選分析辦法，包括盡可能多的樣品類型，滿足篩選的要求。