X熒光光譜儀利用一種原理：利用被高壓加速的電子轟擊金屬靶，電子被金屬靶所減速，便向外輻射X射線。這些X射線中既包含了連續(xù)譜線，也包括了特征譜線。檢測特征譜線強度就能可知樣品內各元素含量。
除光電吸收外，入射光子還可與原子碰撞，在各個方向上發(fā)生散射。散射作用分為兩種，即相干散射和非相干散射。
相干散射：當X射線照射到樣品上時，X射線便與樣品中的原子相互作用，帶電的電子和原子核就跟隨著X射線電磁波的周期變化的電磁場而振動。因為原子核的質量比電子大得多，原子核的振動可忽略不計，所以主要是原子中的電子跟著一起周期振動。由于帶電粒子的振動，又產(chǎn)生新的電磁波，以球面波形式向四面八方射出，其波長和位相與入射X射線相同。又由于不同的電子都發(fā)射電磁波，就構成了一群可以相干的波源，這種現(xiàn)象叫做X射線相干散射。
臺式X熒光光譜儀的廣泛應用
非相干散射：當X射線與原子中束縛力較弱的電子或自由電子發(fā)生碰撞，電子被碰向一邊，而X射線光子也偏離了一個角度。此時，X射線光子的一部分能量傳遞給電子，轉化為電子的動能。X射線光子就失去一部分能量，因為E=hν=hc/λ，X射線光子碰撞后能量減小、頻率變小、波長變大。由于碰撞后，各光子的散射方向不一樣，各光子失去的能量也不一樣，這樣它們的波長各不相同，兩個散射波的位相之間沒有關系，因此不能形成干涉作用，故這種散射稱為非相干散射。
非相干與相干散射的相對強度
非相干與相干散射線的產(chǎn)生機理是不同的，其相對強度亦與入射X射線的波長、散射角θ、以及散射體的原子序數(shù)有關。
非相干散射與相干散射強度比隨物質的原子序數(shù)增加而降低。物質組成元素的原子序數(shù)越低時，非相干散射作用越強。故輕元素會產(chǎn)生非常強的Compton（康普頓）峰，甚至掩蓋待測元素的有用信息。
在X熒光光譜儀中，射線產(chǎn)生兩種散射現(xiàn)象。創(chuàng)想儀器GLMY憑借多年在元素分析領域的經(jīng)驗，研發(fā)生產(chǎn)了X熒光光譜儀這款儀器，滿足了很多非金屬檢測客戶的需求。